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高纯气体系统首选金属材料：不锈钢材料。
不锈钢材料由于具有耐腐蚀、抗氧化等特点，已成为高纯气体系统的首选材料。316L不锈钢由于其在焊接或消除应力后能抵抗晶间腐蚀，因此用途最为广泛。为保证流体产品的性能，材料成分含量和杂质控制是关键因素之一，直接影响流体产品加工后的延展性、耐腐蚀性能和焊后性能。
1、铬Cr——铬中较高的Cr含量具有抗氧化性和耐腐蚀性，可以保证不锈钢表面形成较厚的氧化铬层，提高耐腐蚀性能。
2、镍Ni——稳定的奥氏体组织，延展性好。镍Ni含量可以稳定奥氏体组织，保证不锈钢在较宽的温度范围和不同的流体介质中具有良好的延展性。
3、碳C——晶间腐蚀。碳化物中碳C含量低，可防止晶间腐蚀，并可防止焊接后碳化物的析出。
4、硫S——焊接性能，硫化物中硫S含量低，同时材料中硫S含量变化范围窄，从而保证焊缝成型质量高，无凹陷、无凸起，形成真正的焊接内壁完全熔透，是高纯度应用的必然要求。只有始终如一的半导体级焊接质量，才能满足半导体工程建设高效、优质的生产施工。
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